Проверь нижнюю опору двигателя (подушку) может начальная стадия износа. У меня двигатель на ранних холостых тоже вибрирует, не сильно. Но я менял и грм, ролики, свечи, фильтра, чистил дросельную заслонку, промывка форсунок, замена топливного фильтра. И только на диагностике у оф. дилера, на жалобы скрипа при переключении передач на низких передачах, мастер обнаружил что подушка имеет трещины поэтому тянет соединение глушителя и скоро совсем придёт к концу. Стоимость 4000 плюс замена 2000.